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Electrical Atomic Force Microscopy for Nanoelectronics

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Éditeur :

Springer


Collection :

NanoScience and Technology

Paru le : 2019-08-01

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Description


L'impact considérable des dispositifs électroniques sur nos vies est le résultat de l'amélioration continue des milliards de composants nanoélectroniques à l'intérieur des circuits intégrés (CI). Cependant, les dispositifs semi-conducteurs à ultra-échelle nécessitent un contrôle nanométrique des nombreux paramètres essentiels à leur fabrication. Au fil des ans, cela a créé une alliance solide entre les techniques de microscopie et la fabrication de circuits intégrés. Ce livre passe en revue les derniers progrès réalisés dans le domaine des circuits intégrés, en mettant l'accent sur l'impact des techniques de microscopie électrique à force atomique (AFM) pour leur développement. Les principes de fonctionnement de nombreuses techniques sont présentés et les défis métrologiques associés sont décrits. Mêlant l'expertise de spécialistes industriels et de chercheurs universitaires, les chapitres sont consacrés aux différentes méthodes AFM et à leur impact sur le développement des dispositifs nanoélectroniques émergents. L'objectif est d'introduire les principales méthodes d'AFM électrique, en suivant le cheminement qui a vu nos vies changer avec l'avènement des dispositifs nanoélectroniques omniprésents, et qui a étendu notre capacité à détecter la matière à une échelle auparavant inaccessible.

Pages
408 pages
Collection
NanoScience and Technology
Parution
2019-08-01
Marque
Springer
EAN papier
9783030156114
EAN PDF
9783030156121
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
4
Nombre pages imprimables
40
Taille du fichier
22845 Ko
Prix
168,79 €
EAN EPUB
9783030156121
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
4
Nombre pages imprimables
40
Taille du fichier
161915 Ko
Prix
168,79 €

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